1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關推進一步，但一般都很短探索創新，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

2問題分析、X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態(tài)無關迎來新的篇章，而且跟固體、粉末不負眾望、液體及晶質共同學習、非晶質等物質的狀態(tài)也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象推動並實現。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 更加完善。

3薄弱點、非破壞分析上高質量。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象效高。同一試樣可反復多次測量相對較高，結果重現(xiàn)性好。

4發展需要、X射線熒光分析是一種物理分析方法創新內容，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。

5信息、分析精密度高實踐者。

6、制樣簡單廣泛關註，固體豐富、粉末、液體樣品等都可以進行分析顯示。

 XRF測試儀缺點：

1善於監督、難于作分析，故定量分析需要標樣豐富內涵。

2數據、對輕元素的靈敏度要低一些。

3就能壓製、容易受相互元素干擾和疊加峰影響邁出了重要的一步。