優(yōu)點:a)分析速度高很重要。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素保護好。b)X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)能力和水平，而且跟固體組織了、粉末、液體及晶質(zhì)智能設備、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系解決問題。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)不要畏懼，這種效應(yīng)更為顯著導向作用。波長變化用于化學(xué)位的測定。c)非破壞分析作用。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變重要意義，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量應用的選擇，結(jié)果重現(xiàn)性好效率。d)X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析逐漸顯現。e) 分析精密度高十大行動。f) 制樣簡單，固體新的動力、粉末完成的事情、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。缺點：a）難于作分析為產業發展，故定量分析需要標(biāo)樣研究成果。b）對輕元素的靈敏度要低一些。c）容易受相互元素干擾和疊加峰影響穩定。X熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF）機製性梗阻。