20世紀20年代瑞典的G.C.de赫維西和R.格洛克爾曾先后試圖應用此法從事定量分析進行培訓，但由于當時記錄和探測儀器水平的限制，無法實現(xiàn)凝聚力量。40年代末關鍵技術，隨著核物理探測器的改進,各種計數(shù)器計數(shù)器 的供應商相繼應用在X射線的探測上，此法的實際應用才成為現(xiàn)實。1948年H.弗里德曼和 L.S.伯克斯制成了一臺波長色散的X射線熒光分析儀有所提升，此法才開始發(fā)展起來。此后,隨著X射線熒光分析理論和方法的逐漸開拓和完善能力和水平、儀器的自動化和計算機水平的迅速提高組織了，60年代本法在常規(guī)分析上的重要性已充分顯示出來。70年代以后提供了有力支撐，又按激發(fā)、色散和探測方法的不同堅實基礎，發(fā)展成為X射線光譜法（波長色散）和X射線能譜法（能量色散）兩大分支積極，兩者的應用現(xiàn)已遍及各產(chǎn)業(yè)和科研部門。

　　X射線熒光光譜儀的組成

　　X射線熒光光譜儀主要由激發(fā)前景、色散經驗、探測、記錄及數(shù)據(jù)處理等單元組成長效機製。激發(fā)單元的作用是產(chǎn)生初級X射線進一步意見。它由高壓發(fā)生器和X光管組成。后者功率較大等地，用水和油同時冷卻產業。色散單元的作用是分出想要波長的X射線。它由樣品室共享應用、狹縫工具、測角儀、分析晶體等部分組成情況較常見。通過測角器以1∶2速度轉動分析晶體和探測器市場開拓，可在不同的布拉格角位置上測得不同波長的X射線而作元素的定性分析。探測器的作用是將X射線光子能量轉化為電能喜愛，常用的有蓋格計數(shù)管環境、正比計數(shù)管、閃爍計數(shù)管保障、半導體探測器等重要的角色。記錄單元由放大器空間載體、脈沖幅度分析器、顯示部分組成各項要求。通過定標器的脈沖分析信號可以直接輸入計算機大面積，進行聯(lián)機處理而得到被測元素的含量。

　　X射線熒光光譜儀的具體步驟

　　X射線熒光光譜儀又根據(jù)一次能夠分析單個元素或多個元素優勢與挑戰，而有單道與多道之分集成應用。貴金屬首飾的x射線熒光光譜分析法是金融組織推薦的檢測方法之一。由于元素及含量直接顯示問題分析，所以測定起來很簡單迎來新的篇章，尤其是定性分析和半定量分析快速、準確。定量分析比定性和半定量分析都要復雜情況正常，因為它需要一個比較的標準。

　　具體的步驟是：

　　1．做好標樣的定量變化工作曲線聯動；

　　2．將被測樣品放入樣品室測試各領域，記錄元素和含量參數(shù)；

　　3．翻動被測樣品技術特點，再記錄元素和含量參數(shù)的有效手段；

　　4．根據(jù)平均的含量參數(shù)查標準工作曲線，從工作曲線中找到元素的準確含保持競爭優勢。

　　X射線熒光光譜儀的特點

　　l. 分析的元素廣真正做到，幾乎元素周期表上前92號的元素都能分析；

　　2．分析含量范圍廣方案，從lOO％到十萬分之幾幾乎都能測追求卓越，精度并不亞于其他檢測方法；

　　3．樣品在分析過程中不受破壞創新延展；

　　4．快速方便性能，可在一二分鐘內完成二三十個元素的測定；

　　5．與分析樣品的形態(tài)無關不容忽視，固體習慣、液體、塊組建、粒覆蓋、粉末、薄膜或任意尺寸的樣品均可分析進展情況；

　　6. 相對于其他無損檢測方法重要的作用，X射線的能量要大得多(滿功率可達2.7XW)，X射線的透射深度近lmm研究，它可較好地解決鍍金搶抓機遇、包金等樣品的測試問題綠色化發展；

　　7．對操作人員的技術熟練程度要求不高。